1、设备工作原理
该设备主要由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.15-0.3mbar的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），然后利用等离子体对工件进行表面处理。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
1.2设备技术参数表：
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序号 |
品名 |
配置参数 |
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1 |
设备外形尺寸 |
W1100×D1030×H1650(mm) 不含三色灯高度 |
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2 |
腔体尺寸 |
W400×D450×H400(mm) |
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3 |
腔体容量 |
60升 |
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4 |
电极板数量 |
6层 |
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5 |
载物托盘尺寸/数量 |
L356mm x W355mm / 5层 |
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6 |
电极固定方式 |
插拔可拆卸 |
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7 |
载物托盘间距 |
H：55mm |
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8 |
等离子电源 |
13.56MHz/500W连续调节 自动阻抗匹配,可连续长时间工作。 |
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9 |
气体流量控制 |
0-500mL/m MFC气体质量流量计精确控制流量 |
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10 |
反应气体 |
2路，（氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体） |
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11 |
工艺气体供气管路 |
Φ6不锈钢钢管+软管 |
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12 |
腔体温度 |
常温 |
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13 |
工作真空度 |
30Pa以内 |
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14 |
真空机组 |
1级机械旋片真空泵+2级罗茨泵100m³/H |
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15 |
真空测定系统 |
皮拉尼真空硅管 测量范围：1.0×10 5 ～1×10 -1 Pa |
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真空排气系统 |
油雾过滤器 |
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17 |
破真空系统 |
电磁阀+单向阀+消音器 |
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抽真空时间 |
60s以内 |
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19 |
破真空时间 |
≤15s |
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20 |
变频控制系统 |
加速抽真空时间，维持真空度 |
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21 |
输入气压检测系统 |
2路气压自动报警 |
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压缩空气要求 |
0.6~0.8MPa |
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23 |
电源 |
AC380V,50/60Hz，三相五线40A |
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24 |
整机功率 |
4.5KW |
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25 |
设备重量（设备主机/真空泵） |
500KG |
13923726178