一、等离子设备介绍
该设备主要由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.15-0.3mbar的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），然后利用等离子体对工件进行表面处理。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
1.2设备技术参数表：
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序号 |
品名 |
配置参数 |
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1 |
设备外形尺寸 |
W1100×D1030×H1730(mm) 不含三色灯高度 |
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2 |
腔体尺寸 |
W450×D450×H500(mm) |
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3 |
腔体容量 |
100升 |
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4 |
电极板数量 |
7层 |
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5 |
载物托盘尺寸/数量 |
L400mm x W355mm / 6层 |
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6 |
电极固定方式 |
插拔可拆卸 |
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7 |
载物托盘间距 |
H：55mm |
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8 |
等离子电源 |
13.56MHz/500W连续调节 自动阻抗匹配,可连续长时间工作。 |
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9 |
气体流量控制 |
0-500mL/m MFC气体质量流量计精确控制流量 |
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10 |
反应气体 |
2路，（氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体） |
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11 |
工艺气体供气管路 |
Φ6不锈钢钢管+软管 |
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12 |
腔体温度 |
常温 |
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13 |
工作真空度 |
30Pa以内 |
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14 |
真空机组 |
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15 |
真空测定系统 |
皮拉尼真空硅管 测量范围：1.0×10 5 ～1×10 -1 Pa |
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16 |
真空排气系统 |
油雾过滤器 |
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17 |
破真空系统 |
电磁阀+单向阀+消音器 |
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18 |
抽真空时间 |
60s以内 |
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19 |
破真空时间 |
≤15s |
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20 |
变频控制系统 |
加速抽真空时间，维持真空度 |
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21 |
输入气压检测系统 |
2路气压自动报警 |
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22 |
压缩空气要求 |
0.6~0.8MPa |
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23 |
电源 |
AC380V,50/60Hz，三相五线40A |
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24 |
整机功率 |
4.5KW |
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25 |
设备重量（设备主机/真空泵） |
750KG |
1.3设备配置清单
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核心部件明细表 |
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品名 |
数量 |
品牌 |
型号 |
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设备机架 |
一套 |
能迈科技 |
Q235钢材 烤漆：米黄色（7988） |
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真空腔体 |
一套 |
能迈科技 |
316不锈钢材质 |
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电极板 |
5件 |
自制 |
本色阳极氧化 |
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托盘 |
4件 |
自制 |
AL6061/不锈钢网 |
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等离子电源 |
一套 |
Tonson |
13.56MHz/500W |
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真空泵组 |
一组 |
飞越+鲍斯 |
VSV40+BSJ70L |
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气体流量控制器 |
二套 |
七星华创 Seven star |
D07-26 |
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真空显示规管 |
一台 |
睿宝科技 |
ZDZ-52T+52T |
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抽真空管路 |
1套 |
自制 |
KF真空接口+不锈钢真空波纹管 |
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真空密封圈 |
一套 |
AOKE |
2米硅胶 |
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挡板阀 |
一套 |
斯瑞尔 |
GDQ-40 |
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电磁阀 |
一套 |
福利特 |
FLT250-25-WB-DC24V |
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PLC |
一套 |
日本三菱 |
包括PLC，A/D模组两组 D/A模块两组温度模块 |
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触摸屏 |
一套 |
威纶通 |
7寸 |
1.4设备结构图 （以实际为准）
1.5设备优势特点
l 进口不锈钢316材质真空腔体：军工级别密封，避免气体泄露，又实现高效卓越的真空度，为等离子体创造极佳的反应条件。
l 采用自主研发等离子射频电源，13.56Mhz,确保高能量，高密度，均匀等离子体产生，确保出众的表面处理效果。
l 真空系统 双组真空泵组，真空专用电磁角阀、充气阀、KF40不锈钢真空波纹管；耐高温、抗氧化、无排放污染，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷。
l 高精度气体流量监测系统，两路工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，比例可调，采用高精度电子质量流量计(MFC)、气体管路及阀件。
l 进口高频抗击穿陶瓷，独有放电技术，特殊处理及特殊结构的放电装置，保障高耐用性和绝对安全，
l 电极系统，多层电极隔板设计：结构对称损耗小，该设计对等离子激发空间均匀性大大改善，在同一平面上等离子清洗的速率更加一致，控制电力参数由系统结构设计获得，能很好的控制电极的温度均一性，使电极对等离子的可控性大大提高，同时使电极间空间利用率达到最大。
l 自主研发等离子体控制系统: 可根据腔体环境精准控制等离子体发生时间和反应强度，可进行多步工艺流程处理，采用国内知名品牌电器元件, 有手动、自动两种控制模式，7”真彩触摸屏，可编程控制器，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储、密码锁定、系统维护等多种功能。
l 强大的全面安全防护系统：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，非法操作提示、清洁结束提示，各种误操作保护功能等。
l 处理全程无污染 ，等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。
二、设备安装、调试与保养
需方按照供方要求准备安装场地所相关的电、气至设备处，同时负责设备以外的所有进风和排气管道、排风等。我司负责把设备送到客户工厂，并完成设备的安装与调试；调试时，如出现问题由我司负责解决。客户需遵守我方安装场所的相关规定.
2.1安装环境要求：
1) 安装环境要求：环境温度要求在0-40℃之间、湿度要求为15%-60%
2) 电源及功率：供电电网要求：380V，50/60Hz，电网波动±10%，电网地线符合国际要求、安装设备附近应无强烈电磁信号干扰。
3) 气压接口规格：Φ 6mm。
4)气体压力要求范围： 0.30MPa～1.00Mpa（ 3Kgf～10Kgf）如气源气压超出 1Mpa（10Kgf），需要外部加设限压阀。如无压缩气体提供，或者压力低于 0.03Mpa（ 0.3Kgf），本机会自动停止工作并报警。
5）设备放置场地：面积预留建设≥1.5m*1.5m,高度≥2m；
2.2耗材清单
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序号 |
品名规格 |
更换数量 |
更换频率 |
备注 |
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1 |
真空泵油 |
2L |
720H/次 |
视被清洗物清洁程度可微调（真空泵有可视窗观察油品颜色） |
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2 |
油雾过滤器 |
1PCS |
1年 |
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2 |
油雾过滤棉芯 |
1PCS |
3-6个月 |
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3 |
反应腔密封条 |
2M |
一年以上 |
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4 |
电极插针/基座 |
5PCS |
6-12个月 |
可根据实际情况，选择性更换 |
三、技术培训
设备安装调试完毕后，我司向使用单位操作人员及设备维护人员进行技术交接及操作维护培训，培训合格后方能操作使用该设备。由使用单位主导负责设备安装与调试，并现场对技术人员进行培训。培训两名操作与保养人员，并拟定培训记录。
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序号 |
项目 |
方法 |
备注 |
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1 |
设备的操作 |
现场培训 |
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2 |
处理参数设定 |
现场培训 |
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3 |
设备基本保养和维护 |
现场培训 |
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四、售后服务
4.1产品服务：
v 免费为用户提供上门安装及调试服务，保证设备正常运行；
v 为用户提供壹年质保服务，质保期免费维修；
v 为用户提供终身维护服务，24小时电话响应，2个工作日上门维修；
v 后期可根据客户需求，提供硬件、软件升级服务；
培训及技术支持：
v 针对仪器设备的特点，为用户在设备的性能、原理、操作要领、维修和保养等方面进行免费培训，一般在安装调试当日进行；
v 用户提供免费的技术咨询服务，24小时响应，由我司专业技术人员根据客户咨询的技术问题给出相应解决方案，直到解决客户技术难题；
v 我们拥有专业的研发团队，并拥有多项自主知识产权，我们愿意与用户一起共同开发等离子体处理新工艺，为各行业提供高效、节能、环保的工艺。
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